紧固件表面处理之化学气相镀是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积。

　　紧固件表面处理之化学气相镀是利用气态物质(混合气体气相)与固态物质工件表面进行化学反应，使气态物质中某些成分分解，在工件表面形成金属或化合物涂层。这里有两个关键：1、气体与固体表面产生化学反应;2、化学反应必有能量激活，即必须有足够高的温度作为激活条件，

　　离子注入是在真空条件下，将所需元素、离子加速，使其具有数百或数万能量的离子束流，注入到固体材料的表层，使固体发生物理、化学和冶金性能的变化，此过程称为离子注入。

　　(摘自于表面处理手册)