防松螺母物理气相沉积技术是指在真空条件下，利用物理的方法，将材料气化成原子、分子或使其电离成离子，并通过气相过程，在材料或基体表面沉积一层具有某些特殊性能的薄膜的技术。

　　真空蒸镀是在真空条件下，使金属合金或化合物蒸发，沉积在基体表面上的一种镀膜方法。它是利用电阻加热、高频感应加热或高束能轰击使沉积材料转化为气相达到沉积的目的。真空蒸镀是PVD方法中出现最早的一项技术。溅射镀膜是在一定的充氩气的真空条件下，采用辉光放电技术，将氩气电离产生氩离子，氩离子在电场力的作用下下加速轰击阴极，使阴极材料被溅射下来沉积到工件表面形成镀膜的方法，最早出现的溅射镀膜方法是美国人提出来的射频溅射法。

　　防松螺母物理气相沉积离子镀是在真空条件下，利用各种气体放电技术，将蒸发原子部分电离成离子，同时产生大量的高能中性粒子。

　　(摘自于表面处理技术)