防松螺母真空度的高低通常用气体的压强表示，气体的压强越低，真空度越高，真空度的范围很宽，某一种测量方法很难覆盖全部真空的范围，只能适用于真空的部分范围，这个真空的部分范围就是此种测量方法的量程，也即真空计的量程，所以应根据不同的真空场合来选用特定的真空测量方法。

　　PVD常用的真空计有热电偶真空计、电离真空计和复合真空计等。1、热电偶真空计 热电偶真空计是一种最常用的真空计。它是利用气体的热导现象测量气体压强。热电偶规管及测量电路原理，规管中有一根由钨或铂制成的加热丝，热丝的中点与一对热电偶丝的热端焊在一起，并封装入一端开口的玻璃泡中。使用时，规管的开口接到被测真空系统中，电源供给热丝一个恒定电流，加热热丝，当真空中气体热传导达到平衡时，热丝的温度由热电偶测出，并用毫伏表指示。

　　防松螺母的真空测量热丝的温度取决于气体的压强，因此，热电势的大小就可以表示压强的大小。热电偶真空计的热电势与其他压强的关系需要用绝对真空计标定。

　　(摘自于表面处理手册)