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真空蒸镀紧固件的成膜过程
真空蒸镀紧固件的成膜过程。薄膜的生长有3种基本类型,分为:核生长型、单层生长型、单层上再长核型。核生长型是在基片表面首先形成晶体,然后晶核长大、合并进而形成膜层,沉积薄膜的大多数属于这种类型;单层生长型是在基片表面以单分子层均匀覆盖,逐层沉积形成膜层。
典型的薄膜形成阶段分为4个阶段:1、核的形成。蒸发粒子以很高的速度撞到基片上,一部分粒子产生反射和再蒸发,大部分原子在基片表面被吸附,进而在基片表面发生扩散产生蒸发粒子间的碰撞,形成原子团,原子团继续与蒸发粒子碰撞而长大,当其尺寸超过某一临界值时,则形成稳定的三维晶核。2、岛的形成。形核达到一定数量后,继续沉积时,晶核的数量不再明显增加,而是晶核尺寸的长大并形成岛,这些岛通常具有小晶粒的形状。
真空蒸镀紧固件的网膜在沉积时,膜层的厚度增加,沟道被填充,最终形成连续的薄膜。
(摘自于表面处理手册)
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