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自锁螺母之蒸镀方法

    自锁螺母蒸发源材料与镀膜材料。镀膜材料确定后,选择蒸发源时,对于电阻蒸发源和用钳埚的蒸发源应注意一下几个问题。

  1、蒸发源材料的熔点和蒸汽压。蒸发源材料的熔点要高于镀膜材料的蒸发温度,同时也为了避免蒸发源材料在镀膜材料蒸发时也同时蒸发,影响薄膜的纯度,一般应在选择镀膜材料的温度到达蒸发温度时,蒸发源材料的蒸气压低于10帕斯的材料做蒸发源。2、蒸发源材料与镀膜材料的反应。蒸发源材料不应在高温时与镀膜材料发生化学反应或扩散而形成化合物或合金。形成化合物将影响蒸发速率;形成合金,其熔点下降,蒸发源就会被烧坏。

  自锁螺母高温熔化的镀膜材料在蒸发源材料上有扩展倾向的是易润湿是,蒸发状态稳定,蒸发源可视为容器形蒸发源。反之,有凝聚成球形的,则是很难润湿的,难润湿的镀膜材料在蒸发源中往往发生滚动,使蒸发过程变得很不稳定,有时会从蒸发源上掉落下来。

  (摘自于表面处理手册)

TAGS:自锁螺母    
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