蒸镀设备紧固件真空蒸镀设备按真空系统可分为中真空、高真空、超高真空和无油超高真空镀膜机;按用途可分为光学、电子学、装饰、制镜镀膜机等。

　　单室间歇型镀膜机是真空蒸发镀膜设备的主要结构形式，典型的单室间歇型镀膜机的结构简单，真空蒸发镀膜机通常由镀膜室、真空抽气系统、电控系统以及机架等部分构成。在镀膜室内设有蒸发源、挡板、工件架及其转动机构、烘烤装置、离子轰击电极、膜厚测量装置等。真空室与真空抽气系统。真空蒸发镀膜机的真空室除极少数小型试验设备采用玻璃钟罩外，大多数均采用金属焊接结构，真空室的形式有钟罩式、圆筒式和方箱式。真空室的材料应选用耐蚀性能好、真空放气量小、具有较高强度的轧制不锈钢板焊接。为了降低设备造价，有时也选用双金属复合钢板或碳素钢板镀铬。

　　蒸镀设备紧固件真空室是承受外部压力的容器，其压力差通常为一个大气压，是薄壳受压压力容器。对于钟罩式的真空室应按真空室筒体和真空室封头分别计算耐压强度。

　　(摘自于表面处理手册)