防松螺母真空蒸发镀膜的真空室多数不用水冷，少数采用在真空室外壁焊接冷却水管或用冷却水套冷却。

　　真空室通常设有一个或几个观察窗，观察窗的位置应有利于观察镀膜室内的情况。观察窗应采用硬质耐热玻璃，并在真空室内设置活动挡板，以免玻璃被镀上薄膜。真空蒸发镀膜设备的真空抽气系统配备，往往根据需要而有很大的区别，一般通用设备的抽气系统，主泵采用油扩散泵，前级泵配选片机械泵，机械泵既用作前级泵，又用作真空室的预抽泵，扩散泵的上方设有水冷阱及高真空阀。真空蒸发镀膜设备的真空抽气系统应具有较大的抽气速率，以便能将真空室内构件、蒸发源及零件的放气迅速抽走，维持镀膜所需真空度和提高生产效率。

　　防松螺母真空蒸发镀膜在这一真空度范围内，机械泵抽气系统速率已经下降，扩散泵尚未进入工作状态，抽气速率也比较低。

　　(摘自于表面处理手册)