真空镀膜紧固件设备通常需要通入一两种保护或反应气体，一般采用针阀调节，用流量计指示通入气体的流量，要求较高的真空镀膜设备则选用压强自动控制仪，将真空测量、自动调节阀控制的气体流量和真空室的压强形成闭环控制系统。

　　膜厚监控装置根据镀膜的需要，一些真空蒸发镀膜设备还配置有膜层厚度监控设置。电源与电控真空蒸发镀膜设备的电源主要是提供给真空泵、蒸发源、电子轰击电极等部分，电阻蒸发源和烘烤电源为低电压大电流电源，电子束蒸发源的电子枪高压电源应设有高压打火自动保护及恢复装置，离子轰击电源是小电流高电压电源，应有灭弧装置，小功率电源采用限流电阻，大功率电源采用可控硅灭弧或震荡式灭弧装置。

　　真空镀膜紧固件设备电控的主要作用的顺序控制和安全保护控制，如扩散泵、坩埚的冷却水断水自动保护，高真空阀与真空室充气阀互锁等。

　　(摘自于表面处理手册)