在防松螺母溅射镀膜中，获得动能的粒子一般是在辉光放电时被加速的粒子，在两个电极之间加上高压，就可以产生辉光放电，辉光放电的特性是利用气体放电中高电压、小电流的放电阶段，因此，粒子可以被加速到具有足够的能量。

　　辉光放电是溅射镀膜的基础，是溅射过程中所采用的最常用的也是最为简单的方法。由于正常辉光放电区的放电电流很小，而弧光放电的电流密度太大会烧损阴极，所以溅射镀膜的研究和应用一般都集中在异常辉光放电区，弧光放电用于离子镀作为蒸发源，在阳极暗区气体分子电离产生大量的低速电子，它们与阳极暗区扩散来的正离子复合，同时，也使气体分子激发，这就形成了发光很强的负辉光区气体成分不同，辉光的颜色也不同紧靠负辉光区是法拉第暗区，电子能量很低，不足以使气体分子激发，形成暗区。

　　防松螺母溅射镀膜在靠近阳极的等离子区，离子被阳极排斥，电子被阳极吸收，形成正电位，电子被加速并使气体分子产生激发和电离，可能会出现阳极辉光和阳极暗区。

　　(摘自于表面处理手册)