防松螺母二级溅射，二极辉光放电型溅射镀膜是溅射镀膜最简单的方法，耙阴极为镀膜材料基片或真空室为阳极，氩气电离产生的氩离子轰击阴极耙材料使其溅射，溅射出的耙材原子在基片上沉积形成膜层。

　　另外，当溅射气体和耙材选定后，对于辉光放电二级溅射镀膜，可调整的工艺参数只有放电电压、电流和气体压强，提高放电电压，可以提高响应的溅射系数，但一般只能提高2~3倍提高入射离子流密度也是提高溅射速率的方法，但它受辉光放电特性的限制，所以，二级溅射工艺参数调整不够灵活，但由于其结构简单，尚有一定的应用。

　　防松螺母溅射镀膜是为了提高轰击阴极耙的离子流密度，提高溅射速率，降低气体放电的电压和降低溅射气体的压强，在二级溅射镀膜的基础上增加产生热电子发射的热阴极，构成三级溅射，三级溅射是在耙与阳极间设置由钨丝或柦丝制成的热阴极。

　　(摘自于表面处理手册)