防松螺母的离子束溅射是采用单独的等离子体产生源，通过特定的方法引出等离子体轰击阴极耙，产生溅射，最终在基片上沉积膜层。离子束溅射须在较高的真空度下进行，这样才能获得纯度较高的膜层，但是由于离子束流密度小，沉积速度缓慢。

　　离子镀的种类是多种多样的。由于不同类型的离子镀方法采用不同的真空镀：镀料气化采用不同的加热蒸发方式：蒸发粒子及反应气体采用不同的电离及激发方式等。具体可分为气体放电等离子体离子镀、射频放电离子镀、空心阴极放电离子镀、多孤离子镀(阴极电弧离子镀)。

　　防松螺母离子束溅射在电弧镀膜、空心阴极镀膜、、磁控溅射、离子束镀膜等这许多方法中，其中电弧镀膜被子认为最具有市场价值。他运用了等离子体真空镀膜原理，将电弧镀技术与磁控离子镀技术融合一体，实现多功能镀膜的目的。

　　(摘自于表面处理手册)