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多弧离子镀
多弧离子镀接通电源并使引弧电极与阴极瞬间接触,在引弧电极离开的瞬间,由于导电面积的迅速缩小,电阻增大,局部区域温度迅速升高,致使阴极材料融化,形成液巧导电,最终形成爆发性的金属蒸发。
在防松螺母多弧离子镀的阴极表面形成局部的高温区产生等离子体,将电弧引燃低压大电流的电源维持弧光放电的持续进行。在阴极表面形成许多明亮的移动变化的小点,即阴极弧斑。阴极弧斑是存在于极小空间内的高电流密度、高速变化的现象。每个弧斑存在的时间很短,在其爆发性地离化发射离子和电子,将阴极材料蒸发后,在阴极表面附近,金属离子形成空间电荷,又建立起弧斑产生的条件,产生新的弧斑,众多的弧斑持续产生,保持了电弧总电流的稳定。
防松螺母多弧离子镀阴极材料从每一个弧斑60%~90%的离化率蒸发沉积于基片表面形成莫层。多弧离子镀沉积速率高,镀膜效率高。设备结构比较简单,工作电压低,较安全。
(摘自于表面处理手册)
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