空心阴极等离子束是低电压大电流的电子束，在同样功率条件下，参与碰撞的电子数量比高压电子束高100倍，虽然电子具有的能量较低，但能够使一般物质产生碰撞电离。

　　空心阴极电子枪的工作电压低，操作安全。空心阴极等离子电子束即是蒸发源又是离化源，不需另设辅助离化源，而且它的工作真空度恰好是离子镀工艺所需的真空镀，因此，设备结构简单，易于维护。由于空心阴极离子镀的工作真空度为10帕斯，蒸发原子受气体散射扩散作用较大，加之离化率高，大量的金属原子受到基片负偏压的吸引，使得空心阴极离子镀的绕镀性好。空心阴极等离子束的能量密度比高压电子束低一个能级，蒸发高熔点金属有一定的困难。

　　电子束中的高能电子打到坩埚中的镀膜材料上时，绝大部分电子被复合形成束流，同时，电子将动能转换成热能加热熔化和蒸发镀膜材料。

　　(摘自于表面处理手册)