工件的预热一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热，而热阴极离子镀则是利用等离子束轰击工件，电弧离子镀利用金属离子轰击工件，对工件加热，达到预热的目的，有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。

　　离子轰击溅射清洗。一般离子镀的离子轰击溅射清洗是基片施加负偏压，利用辉光放电产生的氩离子轰击基片，对基片进行离子轰击溅射清洗，而热阴极离子镀是利用等离子电子束轰击辅助阳极，氩离子轰击基片进行离子轰击溅射清洗，电弧离子镀是利用金属离子攻击工件，对工件加热的同时对工件进行离子轰击溅射清洗。

　　离子沉积。不同的离子镀方法在离子沉积时，所使用的源和离化方法不同，具体的设备不同，沉积的莫层不同，其工艺程序和工艺参数也不同。因此，应根据具体情况确定沉积的工艺程序和工艺参数。

　　(摘自于表面处理手册)