开口体系有两个最主要的优点：一是沉积反应的热力学条件放宽了;二是有的原料可装在气瓶中，这提供了可广泛地选择反应物或反应条件的可能性。

　　化学气相沉积体系工艺具有以下特点：1、物料的运输一般是靠外加的且不参与反应的惰性气体来实现的。2、开口体系至少有一种反应产物可以连续地从反应区排出，使沉积反应总是处于不平衡状态，这有利于形成沉积层。3、用开口体系进行化学气相沉积，大多数情况下是在一个气压下或稍高一个大气压下进行的，这有利于废气的排除;可以在真空下以连续的脉冲供气及不断地抽出副产品，这种系统有利于沉积层的均匀性。4、开口体系的沉积工件易于取防，工艺易于控制，结果易于重现，且同一装置可以重复使用，成本低。

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　　(摘自于表面处理手册)