从目前发展的水平来看，化学气相沉积主要应用于两大方面：一是沉积涂层，二是制取新材料。

　　在沉积涂层应用方面，化学气相沉积主要用于解决材料表面改性，以达到提高耐磨、抗氧化、抗腐蚀以及特定的电学、光学和摩擦学等特殊性能的要求。在耐磨涂层方面，主要用于金属切削刀具，常用的镀层一般包括难熔硼化物、碳化物、氮化物和氧化物等。镀层的重要性能包括硬度、化学稳定性、耐磨、低的摩擦系数、高的导热性和热稳定性等。

　　在摩擦学镀层方面，应用化学气相沉积镀层的目的，通常是降低相互接触的滑动面或转动面之间的摩擦系数，从而减少由于黏着、摩擦或其他原因所引起的磨损，在这些应用中常采用的镀层主要是难溶化合物，这类镀层的重要特性包括硬度、弹性模具、断裂韧性、结合强度和晶粒尺寸等，紧固件的特点是品种规格繁多，性能用途各异，而且标准化、系列化、通用化的程度极高。紧固件是应用最广泛的机械基础件，需求量很大。

　　(摘自于表面处理手册)