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脉冲技术的应用
近年来,随着电子和控制技术的发展,脉冲技术逐渐应用到3种传统的薄膜的蒸发源上来,各种粒子源都进行脉冲化的探索,蒸镀尝试采用激光脉冲作为蒸发源,这种技术被称为PLD,采用高能激光脉冲,照射被蒸镀材料,使材料气化蒸发,获得高动能的粒子。
溅射技术和多弧离子镀也都采用脉冲的方式。近年来最新的研究成果表明,脉冲的引入能够稳定溅射的进程,通过加入一个频率为20~200赫兹的脉冲,电弧在溅射中可以被完全抑制,因此,有些不稳定的反应溅射就能够顺利地进行。如在氩气和氧气混合气体中,采用铝作为耙材进行沉积时,引入脉冲后,溅射反应可以在一种长时间的、高速的、稳定的状态下完成,即使在工业应用的规模上也是如此。
离子镀技术中,脉冲技术也开始在有些沉积方法中采用,如多弧离子镀就出现了采用脉冲沉积的研究。采用脉冲方法的优点不仅是可以通过调节脉冲频率控制沉积速率,而且如果结合多种被蒸发物质,还可以方便地获得多层复合膜。本文章整理于上海底特精密紧固件有限公司,上海底特专业生产施必牢防松螺母,具有可靠的抗震防松性能。
(摘自于表面处理手册)
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