离子注入技术的一种利用被加速的高能离子束流使注入元素与固体表层发生非热平衡相互作用的表面技术。离子注入过程是把工件放置在离子注入装置的真空耙室中，将所需要金属或非金属的离子加速注入到工件固体材料的表层，使表面发生物理、化学和冶金性能的变化。

　　离子注入应用的局限性在于投资成本高，注入处理深度浅，只能处理直射到的部位，在处理复杂的工件的内、外表面难以保证注入的均匀，且设备带有真空系统。一般有工业生产用离子注入机和实验研究用离子注入机两大类，将适当的气体或固体工作物质的蒸汽通入离子源，使其电离形成正离子，并从中引出离子束，离子源的作用即是产生所需的离子束。

　　由于微波离子源电离方式是固态加热蒸发产生气体作为电离气体，因此金属原子电离往往采用金属氧化物，引出的离子不纯，需要磁分析器，使得设备庞大，只是用与氮、碳、氧的注入。该文章整理于上海底特精密紧固件有限公司，本公司生产的锁紧螺母紧固件具有可重复使用的性能。

　　(摘自于表面处理手册)