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离子注入与材料表面改性

    载能离子入射材料表面时,会与材料中的原子和电子发生一系列的碰撞作用,离子束与材料的相互作用按给定图所示,载能离子每经一次碰撞就将部分能量传递给原子或电子,同时相应减少离子本身的能量,直到能量耗尽,入射离子在材料中作为一种杂质原子停留下来,离子与固体相互作用所产生的效果很明显。

  单能离子注入是将具有确定能量的载能离子直接注入试件表面,方法简便,但注入离子在基体中的饱和浓度被限制在一定深度的薄层内,多能离子注入是同能离子以不同能量先后注入试件,可以增宽饱和浓度区域,并增加实际注入剂量,多元素混合注入是将几种元素分别注入同一试件,通过设计注入合金组元,得到表面合金化层。静态反冲注入是先镀膜,后冲击,将镀层原子反冲到基体中,可间接注入难溶元素的离子。

  离子束轰击扩散镀膜的先镀膜后用轻离子束轰击,辅以加热,反冲原子在高温下增强扩散,增大混合层厚度,并可使常态下互不相溶的组元形成亚稳态合金。本文整理于上海底特精密紧固件有限公司。该公司生产的施必牢防松螺母具有抗震防松的性能。

  (摘自于表面处理手册)

TAGS:离子注入    
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