利用电场力使轴悬浮的滑动轴承称为静电轴承紧固件，又称为电悬浮轴承。这是20世纪50年代出现的新型滑动轴承。它结构紧凑、功耗小，有害力矩(对精密仪表有影响)远比磁力轴承小，但是，即使有相当高的电场强度，产生的支承力仍比较小，所以一般只用于一些微型的精密仪器中，例如静电陀螺仪、静电加速度表和超高真空规等。

　　静电球轴承紧固件起支过程中,双边支承下的非线性与轴间耦合较强,必须配置支承垫才能实现任意姿态起支。为了解决静电球轴承无支承垫时的任意姿态起支问题,研究了基于无预载电压偏置的单边支承控制方法。根据非线性的静电力模型,应用反馈线性化方法构造出非线性控制器,使得系统在大范围内精确线性化,然后应用线性系统理论进行设计。实验结果表明,结合单边支承方案与非线性控制方法能够实现静电轴承在任意姿态下的平稳起支,无需配置支承垫,大大简化了对支承电极的工艺要求。

　　转子位移检测环节是静电悬浮轴承紧固件的重要组成部分 ,位移测量电路的性能直接影响到转子在电极球腔中的定中精度。

　　(摘自于机械设计手册)