自锁螺母的真空蒸镀就是在真空容器中，把镀膜材料加热，使大量的原子或分子离开液体或固体表面，经过气态迁移沉积在基片上形成膜层。真空镀膜主要包括以下3个过程：膜料的蒸发、蒸发粒子的运动和成膜过程。

　　膜料的蒸发 蒸发的主要参数为蒸气压和蒸发速率。蒸气压。物质的蒸汽在与其固态或液态达到平衡时所表现出的压力成为物质的蒸气压。对于一定的物质，蒸气压的大小只取决于温度，金属的蒸气压随温度的升高二迅速增大，各种元素的蒸气压可以很方便地从有关手册中查到。蒸发速率。当系统处于平衡状态时，物质的液态或固态与其蒸气间达到动态平衡。物质的分子或原子不断地蒸发离开液体或固体表面，同时蒸汽分子或原子不断地蒸发离开液体或固体表面，当蒸发和返回的粒子数相等时，则达到了平衡状态。

　　自锁螺母蒸发速率和蒸气压成正比，并且随温度的升高二迅速增大。因此，要控制蒸发速率，必须对蒸发源的温度进行精确的控制，但是，在多数情况下采用控制蒸发源的温度控制蒸发速率是有许多困难的。

　　(摘自于表面处理手册)