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锁紧螺母之蒸发粒子的运动
锁紧螺母蒸发粒子运动。真空蒸发镀膜时,为了使蒸发粒子从蒸发源到基片的迁移过程中不与残余气体分子发生碰撞,或少发生碰撞,选择镀膜的真空度使气体分子平均自由程等于蒸发源到基片间的距离是不够的。
蒸发粒子到达基片表面时将与基片表面原子发生如下作用:1、反射。撞击基片表面的蒸发粒子,在基片表面做极短时间的“停留”而被反弹回去,发生弹性碰撞。这一作用的结果使蒸发粒子仍保持其大部分能量,仅仅改变了它们的运动方向。2、吸附。吸附分为物理吸附和化学吸附两种类型。物理吸附现象是由范德瓦斯力形成的。这种力总是出现在任何两个分子相互接近时,分子间不需要克服势能,吸附热与解吸热相等。被吸附的原子和表面原子的特性,吸附以后不会发生变化。化学吸附是发生与离子键和共价键等化学键类型的原子间特有的现象,吸附后被吸附粒子和吸附粒子间会发生电子的转移和共享,原子的特性会发生变化,吸附热较大。
锁紧螺母之蒸发粒子的运动二次蒸发。吸附粒子在基片表面扩撒,停留一段时间后再次被蒸发而成为蒸发粒子。
(摘自于表面处理手册)
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