外热式坩埚和辐射加热蒸发源，外热式坩埚蒸发源就是在坩埚中放入蒸发材料，从坩埚的外部加热是蒸发材料蒸发。

　　辐射加热蒸发源是用热辐射直接加热坩埚中被蒸发材料的蒸发面的蒸发方法，这种蒸发源适用于对红外辐射吸收率高的材料的蒸发，许多介质材料选用这种方法。工件架一般设在蒸发源的上方，用来夹持工件，为了保证膜层厚度的均匀性，工件架应按一定的运动规律转动。工件架转动应平稳，而且转速在一定范围内可调。在保证工件镀层均匀的前提下，装载量要大，以提高生产效率。挡板在蒸发源和基片之间的适当位置设置活动挡板，在蒸发材料预熔和未开始蒸发沉积时，挡板遮挡蒸发源使其放气不污染基片，在开始蒸发沉积时，打开挡板进行沉积，关闭挡板可迅速停止沉积。

　　在多蒸发源设备中，挡板可以控制，让正在工作的蒸发源蒸发，遮挡住未工作的蒸发源不受污染，还可以控制各蒸发源蒸发的顺序和时间的长短。

　　(摘自于表面处理手册)