当自锁螺母辉光放电电极结构、气体压强和放电电压都保持不变时，减小两级间的距离，辉光放电的阴极位降区不发生变化，只是正柱区的长度缩短，反之亦然，当阴阳极间的距离小于阴极位降区的尺寸时，则辉光立即熄灭，据此，在设计溅射耙时，一定要使耙所有需要溅射的部位与阳极有一定的距离，以保证耙的整个部分均能产生溅射。

　　另外，为使某些带有阴极电位的部分不产生溅射，则可在这些部位加以屏蔽，使屏蔽与该部分的距离小于辉光放电的阴极位降区尺寸，这一部分由于不能产生辉光放而被保护起来不被溅射，例如，阴极耙结构中，固定耙材的结构部分使用了与耙材不同的材料，为防止这些材料被溅射，在这一部分的外部，安装一个与阴极绝缘的金属罩，并使该罩与阴极保持1~1.5的间隙，这样，这一部分就不会产生辉光而被保护起来。

　　自锁螺母溅射用辉光放电当辉光放电电极结构、放电电压和两级间的距离保持不变，而减小气体压力时，阴极位降区将会增大。

　　(摘自于表面处理手册)