溅射系数是正离子轰击阴极时，平均每个正离子能从阴极表面溅射出的原子数与分子数，溅射系数与轰击离子的种类和能量有关，与阴极材料的种类和结构有关，与溅射气体的压强有关。

　　溅射系数与离子种类，总的来说，随着轰击离子质量的增加，溅射系数总体保持增加的趋势，另外，惰性气体轰击相对于邻近元素原子轰击得到的溅射系数要高。溅射气体的选择应考虑选用较高溅射系数的气体且不与膜材发生化学反应，没有污染，综上所述，目前常用惰性气体氩气作为溅射气体。

　　溅射系数与耙材料种类和结构的关系。不同的耙材元素，以及它们的不同结构，在相同的轰击离子和相同的轰击能量条件下它们的溅射系数不同，溅射系数和耙材的原子序数有一定的关系，溅射系数随耙材原子序数的变化而表现出一定的周期性。

　　(摘自于表面处理手册)