化学气相沉积是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积。

　　化学气相沉积是在一定温度下，混合气体之间或混合气体与基体表面之间相互作用，在基体表面形成金属或化合物等的固态膜或镀层，使材料表面改性以满足耐磨、抗氧化、抗腐蚀以及特定的电学、光学和摩擦学等特殊性能要求的一种技术。

　　化学气相沉积其中包括两个关键因素：一是初始混合气体气相必须与基体固相界面之间相互作用，因为化学气相沉积的固态膜或镀层是各种初始气体在基面上的反应或气相一个组分与基体表面的反应沉积形成的;二是沉积反应是在一定能量激活的条件下进行的，一般情况下，产生气相沉积的化学反应必须有足够高温度作为激活条件，但采用等离子体或激光辅助等手段，沉积反应的温度可大大降低。

　　(摘自于表面处理手册)