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化学气相沉积密闭体系

    化学气相沉积密闭体系是将一定量的反应物和工件分别放在反应器两端,在管内抽空后冲入一定的传输剂,然后熔封,再将反应器置于双温区炉内,使反应器内形成一定的温度梯度,温度梯度造成的负自由能变化是传输反应的推动力,物料便从封管的一端传输到另一端并沉积下来,在理想情况下,密闭反应器中所进行的反应,其平衡常数值应接近于1。

  密闭体系的优点:1、可以降低来自空气或气氛的偶然污染;2、不必连续抽气也可以保持真空,对于必须在真空下进行的沉积十分方便;3、可以讲高蒸汽压物质限制在管内充分反映而不外逸,原料转化率高。密闭体系的缺点是:1、材料生长速率慢,不适于进行大批生产;2、反映管(一般为高纯石英管)只能使用一次,不但提高了成本,而且在反映管拆封过程中还可能引入杂质;3、在管内压力无法测定的情况下,一旦温度控制失灵,可能引起内部压力过大,产生爆炸,因而反应器的材料选择、装料时压力的计算、温度的选择和控制等是密闭体系工艺的关键环节。

  上海底特生产的自锁螺母紧固件具有可靠的抗震防松性能,可显著地提高螺母及螺栓的使用寿命。

  (摘自于表面处理手册)

TAGS:化学气相沉积    
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