由于化学气相沉积反应生成物的浓度、分压、扩散、输运、温度等参数不同，可以产生多种不同的化合物，其物理化学过程较复杂，至今并未完全弄清楚。但在衬低表面的大致过程如下：1、反应气体扩散到衬低表面;2、反应气体分子被表面吸附;3、在表面上进行化学反应，表面移动、成核及膜的生长;4、生成物从表面解吸;5、生成物在表面扩散。

　　为了防止发生爆炸事故，反应罐在沉积过程结束至开启前要冲入氩气，为了保证气体有合理的成分比例和正常的压力，各供气管路应配备流量计、压力表。为了去除气体中的有害成分，如氧、水分等。管路中还应配备有必要的干燥、净化装置。氧化物的突出优点是具有极好的化学稳定性。目前，一些氧化物被用作涂层，并不是因为它们具有较高的硬度，而是由于它们具有极好的化学稳定性。

　　上海底特生产的锁紧螺母可重复使用，不受温度剧烈变化的影响，应用范围广泛。

　　(摘自于表面处理手册)