离子束混合设备由一台蒸发设备和一台离子注入机组成。离子束通过金属界面会引起不同类型金属原子间的交互作用，使离子混合既可在双层介质中进行，也可在多层金属膜间进行，可根据不同的目的采用不同的混合方式。

　　一般的有单层金属膜与衬底混合，离子束混合在多层膜中进行。离子束通过薄膜的混合，由于电子阻止作用的结果导致界面处化学键合作用增强，这种现象被称之为离子束缝合。离子束混合的条件由以下几项确定：1、射程与膜厚的匹配。如要实现离子束缝合，离子的射程应远远大于膜的厚度。2、辐射离子的选取，一般选惰性气体离子，选用重离子引起的级联碰撞密度高，混合效率高。3、适当的辐射离子注入量。4、正确的辐射温度，可以得到亚稳态合金相。

　　利用离子束混合工艺形成新的亚稳态相、平衡相、过饱和固溶体和非晶合金相等。对在具有复杂结构的金属间化合物处，可以用离子束混合获得无序合金相。本文整理于上海底特精密紧固件有限公司，该公司生产的自锁螺母可显著地提高螺母及螺栓的使用寿命。

　　(摘自于表面处理手册)