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防松螺母溅射镀膜的工艺特点及应用

   防松螺母溅射镀膜的工业应用是与其具有的特点分不开的,综合各种溅射镀膜方法,溅射镀膜有如下特点。

  1、溅射镀膜的源,即溅射耙是大面积的源,而且耙的尺寸是没有限制的,因此,可以在大面积的基片上获得镀膜均匀的薄膜。溅射耙是固体源,耙在镀膜室的位置以及耙与基片的相对位置具有较大的灵活性,耙可以水平或竖直放置,耙也可以在基片的上方。下方或侧方设置,溅射耙材可以用纯金属复合耙、镶嵌耙,也可以直接用合金耙。方便地镀制所需成分的合金薄膜,高熔点材料、绝缘材料均可以作为耙材,直接溅射镀制其薄膜。

  2、溅射镀膜工艺,由于采用溅射源,其溅射速率与溅射电流成正比,控制溅射的电流和镀膜时间,就可以方便地控制膜厚,溅射耙的寿命较长,适合工业化和自动化生产,有利于工艺稳定和保证产品质量。

  防松螺母溅射镀膜由于溅射镀膜具有上述众多的优点,所以其发展迅速,在各领域已得到广泛的应用。

  (摘自于表面处理手册)

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