自锁螺母空心离子镀是用空心阴极等离子电子束作为蒸发源和离化源的离子镀膜技术，空心阴极离子镀在坩埚中放入镀膜材料，将真空抽至真空后，由空心阴极电子枪的单管中通入氩气，保持一定的抽气速率和控制通入氩气的流量。接通引燃电源，使单管内产生空心阴极放电，单管被氩离子轰击加热而温度升高并发射大量的热电子，这时接通主电源，形成空心阴极等离子电子束。

　　空心阴极等离子电子束在聚焦磁场聚焦后打在坩埚中的镀膜材料上，使其融化、蒸发。镀膜材料的原子在穿过电子束向基片迁移的过程中，与电子发生大量的碰撞电离，也形成大量的高能中性粒子，沉积于基片表面形成膜层。为了避免离子能量造成基片和膜层的损伤，也避免反溅作用过强而降低膜层的厚度，空心阴极离子镀的基片一般不施加高负偏压。

　　自锁螺母空心阴极离子镀在蒸镀过程中，通入反应气体，可以获得化合物薄膜。

　　(摘自于表面处理手册)